[发明专利]一种基于复合衬底的掺钠铜铟镓硒薄膜及其制备方法

摘要

一种基于复合衬底的掺钠铜铟镓硒薄膜，为基于聚酰亚胺膜-苏打玻璃复合衬底的掺钠铜铟镓硒薄膜，由玻璃、聚酰亚胺和铜铟镓硒吸收层薄膜组成并形成叠层结构，其制备方法是：首先将聚酰亚胺胶涂覆于苏打玻璃表面，固化成聚酰亚胺膜-苏打玻璃复合衬底，然后在其表面制备一层极薄的氟化钠预置层薄膜，然后在其上制备铜铟镓硒薄膜。本发明的优点是：该基于聚酰亚胺膜-苏打玻璃复合衬底的掺钠铜铟镓硒薄膜附着性优秀，结晶质量好，晶粒大、缺陷少，可实现利用钢性衬底制备柔性太阳电池；其制备方法简单、易于实施，有利于大规模的推广应用。

主权项

一种基于复合衬底的掺钠铜铟镓硒薄膜，其特征在于：该掺钠铜铟镓硒薄膜为基于聚酰亚胺膜‑苏打玻璃复合衬底的掺钠铜铟镓硒薄膜，由玻璃、聚酰亚胺和铜铟镓硒吸收层薄膜组成并形成叠层结构，其中衬底由苏打玻璃及生长于其表面的聚酰亚胺膜构成，苏打玻璃的厚度为1.5‑2mm，聚酰亚胺膜厚度为25‑30µm；铜铟镓硒吸收层薄膜的化学分子式为CuIn1‑xGaxSe2，式中x为0.25‑0.35，导电类型为p型，薄膜厚度为1.5‑2µm。