[发明专利]一种柔性铜铟镓硒薄膜太阳电池组件及其制备方法

摘要

一种柔性铜铟镓硒薄膜太阳电池组件，由柔性基板、双层Mo金属背电极、铜铟镓硒薄膜吸收层、CdS缓冲层、本征ZnO薄膜阻挡层和透明导电掺铝ZnO薄膜窗口层组成并依次形成叠层结构，其制备过程中在不同层面分别划出三条刻槽。本发明的优点是：适合卷对卷工艺规模化制备大面积柔性铜铟镓硒薄膜太阳电池组件，满足实际应用中对光伏组件电压和电流的要求，实现了柔性铜铟镓硒薄膜太阳电池的内部串联，组件具有不短路有效面积大，同时提高生产效率，降低生产成本。

主权项

一种柔性铜铟镓硒薄膜太阳电池组件，其特征在于：由柔性基板、双层Mo金属背电极、铜铟镓硒薄膜吸收层、CdS缓冲层、本征ZnO薄膜阻挡层和透明导电掺铝ZnO薄膜窗口层组成并依次形成叠层结构，各层的厚度为：双层Mo金属背电极中第一层Mo薄膜厚度为200‑300nm、第二层Mo薄膜厚度为300‑1200nm、铜铟镓硒薄膜吸收层1‑3μm、CdS缓冲层50‑100nm、本征ZnO薄膜阻挡层50‑100nm、透明导电掺铝ZnO薄膜窗口层300‑800nm。