[发明专利]用于球面光学元件表面疵病暗场检测的照明系统及方法

摘要

本发明公开了一种用于球面光学元件表面疵病暗场检测的照明系统及方法。本发明包括球面光源、光源支架、待测光学元件、光学元件多维夹持装置、显微成像系统、电荷耦合元件、计算机、电机。球面光源包括均匀面光源和变焦透镜组镜筒，多个球面光源环形等间距安装在光源支架上，变焦调节组件包括变焦透镜组镜筒、前固定镜组、变焦镜组、后固定镜组、变焦镜筒、齿轮、滑轨。光源支架下方设置有待测光学元件和夹持装置，上方设置有显微成像系统和电荷耦合元件，显微成像系统的光轴、多个光源组成的环形面的圆心和待测光学元件的球心共轴。本发明对球面光学元件表面疵病检测的暗场照明，所成像为暗背景上的亮疵病像，对比度好，易于后续图像处理。

主权项

用于球面光学元件表面疵病暗场检测的照明系统，其特征在于包括球面光源、光源支架、待测光学元件、光学元件多维夹持装置、显微成像系统、电荷耦合元件CCD、计算机、电机；球面光源由均匀面光源I和变焦调节组件S组成，多个球面光源环形等间距安装在光源支架上；变焦调节组件S包括前固定镜组、变焦镜组、后固定镜组，通过计算机控制电机的转动，从而控制变焦调节组件S焦距变化；光源支架下方设置有待测光学元件和光学元件多维夹持装置，待测光学元件放置在光学元件多维夹持装置上方；光源支架上方设置有显微成像系统和电荷耦合元件CCD，显微成像系统固定设置在电荷耦合元件CCD正下方；显微成像系统的光轴、多个球面光源组成的环形面的圆心和待测光学元件的球心共轴。