[发明专利]一种多晶硅定向凝固装置

摘要

本发明属于定向凝固领域，特别涉及一种多晶硅定向凝固装置，本发明装置构思独特，在原有设备的基础上，加以创新改进，在热场没有相对移动的情况下，通过控制上部加热装置、下部加热装置和中部加热装置的温度来产生长晶所需的温度梯度，形成多晶铸锭。操作简单，易于控制和计算。

主权项

一种多晶硅定向凝固装置，包括炉体，连通有通气管路（5）的上炉盖（1）通过炉体外置的电动螺旋升降机构（4）安装在炉体顶部，下炉盖（3）通过螺纹连接在炉体底部，炉体内安置有坩埚（19），与下炉盖（3）相连通的可旋转升降水冷平台机构(18)与坩埚(19)底固定连接，其特征在于炉体内坩埚（19）正上方安装有上部加热装置，其包括安装在炉壁上的上部水冷铜电极（17），还有安装在炉内的依靠螺栓连接的上部石墨电极（16）和上部加热器石墨环（15）；炉体内坩埚(19)壁外侧安装有中部加热装置，其包括石墨汇流器（14）和与其依靠螺栓连接的石墨加热棒（13），石墨加热棒（13）上端与石墨汇流器（14）相连，下端与扇形石墨分流器(12)相连；坩埚（19）和下炉盖（3）之间安装有下部加热装置，其包括安装在炉内的下部石墨电极（10）和固定于下炉盖（3）上的下部水冷铜电极（11），下部石墨电极（10）下端与下部水冷铜电极（11）相连，上端与扇形石墨分流器(12)相连；炉体内表面均设置有保温层，其包括位于坩埚（19）正上方的上保温盖（6）、位于坩埚（19）外壁的侧保温桶（7）、位于坩埚（19）下的下保温环（8）和下保温盖（9）。