[发明专利]六自由度微动台及其应用在审
| 申请号： | 201310245137.9 | 申请日： | 2013-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN104238275A | 公开（公告）日： | 2014-12-24 |
| 发明（设计）人： | 江旭初;梁晓叶;陈建民;吴立伟 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种六自由度微动台及其应用，该六自由度微动台包括：承片台、三组垂向驱动装置和三组水平向驱动装置，其中，三组水平向驱动装置200呈120度布置于承片台的底部，完成水平向X、Y、Rz三个方向的位置调整，并且三组水平向驱动装置的出力沿出力方向组成一个矢量圆；三组垂向驱动装置也呈120度布置于承片台的底部，完成垂向Z、Rx、Ry三个方向的位置调整；水平向驱动装置和垂向驱动装置均采用动磁铁方式，消除了电缆的扰动。本发明的六自由度微动台取消了气浮或磁浮重力补偿装置，降低了微动台垂向驱动装置的实际难度和制造难度，同时，微动台驱动部件的重力可通过所述垂向驱动装置实时进行补偿，提高了重力的补偿效果。 | ||
| 搜索关键词： | 自由度 微动 及其 应用 | ||
【主权项】：
一种六自由度微动台，其特征在于，包括：承片台、三组垂向驱动装置和三组水平向驱动装置，其中，所述三组水平向驱动装置以及三组垂向驱动装置均分别呈120度布置于所述承片台的底部，所述三组水平向驱动装置的出力沿出力方向组成一个矢量圆，所述水平向驱动装置和垂向驱动装置均采用动磁铁方式。
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