[发明专利]静电驱动静电检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法有效
| 申请号： | 201310245588.2 | 申请日： | 2013-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN103344230A | 公开（公告）日： | 2013-10-09 |
| 发明（设计）人： | 张卫平;成宇翔;许仲兴;唐健;张弓;陈文元;汪濙海 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01C19/5698 | 分类号： | G01C19/5698 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 郭国中 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种静电驱动静电检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法，所述陀螺包括不带释放孔的圆盘振子、基板、圆柱形的支撑柱、驱动电极、检测电极和公共电极，其中：所述圆盘振子通过所述支撑柱固定于所述基板上，所述圆盘振子垂直于基板的z轴；所述驱动电极、所述检测电极和所述公共电极呈圆周分布于所述基板上，并与所述圆盘振子平行且有一间隙；所述公共电极设置于两个所述驱动电极与两个所述检测电极之间。所述陀螺采用MEMS加工工艺，制作工艺简单，可靠性高，能保证较低的成本和较高的成品率。本发明采用非接触式的电极结构，对谐振子的振动影响更小。本发明体积小，结构简单，加工工艺易于实现，适用于批量化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 驱动 检测 声波 谐振 三轴微 陀螺 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种静电驱动静电检测体声波谐振三轴微陀螺，其特征在于，包括不带释放孔的圆盘振子、基板、圆柱形的支撑柱、驱动电极、检测电极和公共电极，其中：所述圆盘振子通过所述支撑柱固定于所述基板上，所述圆盘振子垂直于基板的z轴；所述驱动电极、所述检测电极和所述公共电极呈圆周分布于所述基板上，并与所述圆盘振子平行且有一间隙；所述公共电极设置于两个所述驱动电极与两个所述检测电极之间，并按照两个驱动电极、一个公共电极、两个检测电极、一个公共电极、两个驱动电极的排列顺序，交叉循环设置。
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