[发明专利]基于电容传感器的上研磨盘浮离距离在线测量装置无效
| 申请号： | 201310247294.3 | 申请日： | 2013-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN103363888A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 蔡东海;周海锋;文东辉;王扬渝 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | G01B7/14 | 分类号： | G01B7/14 |
| 代理公司： | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人： | 王利强 |
| 地址： | 310014 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种基于电容传感器的上研磨盘浮离距离在线测量装置，所述上研磨盘的上方为动压盘，所述在线测量装置包括极距变化型电容传感器，所述极距变化型电容传感器包括相互针对设置的动极板和定极板，所述动极板布置在动压盘上，所述定极板布置在所述上研磨盘上，所述极距变化型电容传感器与运算放大器连接，所述的运算放大器与滤波器连接，所述的滤波器与A/D转换器连接，所述的A/D转换器与用于将送来的数据经过极距变化公式计算得到当前距离的单片机连接。本发明提供一种有效测量上研磨盘浮离距离、实时性良好的基于电容传感器的上研磨盘浮离距离在线测量装置。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 电容 传感器 研磨 盘浮离 距离 在线 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种基于电容传感器的上研磨盘浮离距离在线测量装置，所述上研磨盘的上方为动压盘，其特征在于：所述在线测量装置包括极距变化型电容传感器，所述极距变化型电容传感器包括相互针对设置的动极板和定极板，所述动极板布置在动压盘上，所述定极板布置在所述上研磨盘上，所述极距变化型电容传感器与运算放大器连接，所述的运算放大器与滤波器连接，所述的滤波器与A/D转换器连接，所述的A/D转换器与用于将送来的数据经过极距变化公式计算得到当前距离的单片机连接。
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