[发明专利]测量静电卡盘的静电力的装置有效
| 申请号： | 201310251181.0 | 申请日： | 2013-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN103376176A | 公开（公告）日： | 2013-10-30 |
| 发明（设计）人： | 程嘉;曹明路;季林红 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01L5/00 | 分类号： | G01L5/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋合成;黄德海 |
| 地址： | 100084 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种测量静电卡盘的静电力的装置，包括：真空腔体、静电卡盘、测力传感器、动力装置和测距传感器。具体而言，所述静电卡盘设在所述真空腔体内；所述测力传感器在靠近所述静电卡盘和远离所述静电卡盘的方向上可移动地设在所述真空腔体内，且所述测力传感器适于连接晶片；所述动力装置设在所述真空腔体上，且所述动力装置与所述测力传感器相连；所述测距传感器设在所述真空腔体内。根据本发明实施例的测量静电卡盘的静电力的装置，可以获得更加完整精确的数据。在采用静电卡盘生产集成电路的过程中，可以有效的调节静电力，从而提高生产效率和质量。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 静电 卡盘 静电力 装置 | ||
【主权项】：
一种测量静电卡盘的静电力的装置，其特征在于，包括： 真空腔体； 静电卡盘，所述静电卡盘设在所述真空腔体内； 测力传感器，所述测力传感器在靠近所述静电卡盘和远离所述静电卡盘的方向上可移动地设在所述真空腔体内，且所述测力传感器适于连接晶片； 动力装置，所述动力装置设在所述真空腔体上，且所述动力装置与所述测力传感器相连；和 测距传感器，所述测距传感器设在所述真空腔体内。
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