[发明专利]一种二极管加工用新型钝化液有效

专利信息
申请号: 201310251723.4 申请日: 2013-06-24
公开(公告)号: CN104233245A 公开(公告)日: 2014-12-24
发明(设计)人: 郑欣 申请(专利权)人: 安徽中鑫半导体有限公司
主分类号: C23C22/07 分类号: C23C22/07
代理公司: 南京正联知识产权代理有限公司 32243 代理人: 郭俊玲
地址: 242100 *** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明是一种二极管加工用新型钝化液,钝化液包含有磷酸,双氧水和纯水,磷酸,双氧水和纯水的体积比为1:1:3,在磷酸、双氧水和纯水的混合液中再添加少量的硫酸,磷酸、双氧水和纯水的混合液与硫酸的体积比为98:2,磷酸的浓度为85%,双氧水的浓度为30-35%,硫酸的浓度为98%。本发明按照一定的体积比将磷酸、双氧水和纯水混合后在添加硫酸,少量的硫酸减少反应的生成物,没有杂质,较以往的钝化处理液成本低,抗腐蚀能力强。本发明的处理液配方简单,成本低,使工件防腐性能提高的同时其他性能依然不变,延长了工件的使用寿命。
搜索关键词: 一种 二极管 工用 新型 钝化
【主权项】:
一种二极管加工用新型钝化液,所述钝化液包含有磷酸,双氧水和纯水,其特征在于:所述磷酸,双氧水和纯水的体积比为1:1:3,在所述磷酸、双氧水和纯水的混合液中再添加少量的硫酸。
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