[发明专利]提升磁材料性能的方法、磁传感装置的制备方法有效
| 申请号： | 201310251782.1 | 申请日： | 2013-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN104241519B | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 张挺;杨鹤俊 | 申请（专利权）人： | 上海矽睿科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L43/12 | 分类号： | H01L43/12;H01L43/08 |
| 代理公司： | 上海金盛协力知识产权代理有限公司31242 | 代理人： | 王松 |
| 地址： | 201815 上海市嘉*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种提升磁材料性能的方法、磁传感装置的制备方法，所述磁传感装置的制备方法包括在基底上依次沉积多层绝缘介质层，其中，最后沉积的一层绝缘介质层厚度小于50纳米，具有非晶结构，在该绝缘介质层上设置磁材料，提升材料磁性能。所述方法还包括在磁材料薄膜上设立一层或者多层的保护层材料，与磁材料直接接触的保护层材料具有高电阻或者具有非晶的结构。本发明在提升AMR等磁材料磁性能的同时又不影响器件制造工艺，不引入新的工艺和材料，有助于提升器件的性能和竞争力。 | ||
| 搜索关键词： | 提升 材料 性能 方法 传感 装置 制备 | ||
【主权项】：
一种提升磁材料性能的方法，其特征在于，所述方法包括：在基底上依次沉积多层绝缘介质层，其中，最后沉积的一层绝缘介质层厚度小于100纳米，具有非晶结构，在该介质层上设置磁材料，通过上述最后沉积的一层绝缘介质层与磁材料接触提升材料磁性能。
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