[发明专利]大尺寸单晶硅炉用碳纤维硬质保温材料的制备方法无效
申请号: | 201310252364.4 | 申请日: | 2013-06-24 |
公开(公告)号: | CN104230365A | 公开(公告)日: | 2014-12-24 |
发明(设计)人: | 乔有海 | 申请(专利权)人: | 乔有海 |
主分类号: | C04B35/83 | 分类号: | C04B35/83;C04B35/622 |
代理公司: | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人: | 奚衡宝 |
地址: | 225600 江苏省扬州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种大尺寸单晶硅炉用碳纤维硬质保温材料的制备方法。具体实施步骤如下:1)碳纤维成型预制体;2)树脂浸渍;3)炭化处理;4)真空气相沉积;5)机床加工成型;6)表面致密涂层;7)热处理。本发明工艺简单、流程短、生产周期短,单晶硅炉用碳纤维硬质保温材料使用寿命长,在高温下不易挥发,不会造成炉体内的污染。 | ||
搜索关键词: | 尺寸 单晶硅 碳纤维 硬质 保温材料 制备 方法 | ||
【主权项】:
大尺寸单晶硅炉用碳纤维硬质保温材料的制备方法,其特征在于:具体实施步骤如下:1)碳纤维成型预制体;将碳纤维磨碎成4‑8mm的短碳纤维;2)树脂浸渍;将上述短碳纤维树脂浸渍,所述的树脂为环氧和醛醛树脂;3)炭化处理;将温度保持在950‑1000度;4)真空气相沉积;将上述预成品在真空环境下石墨化处理,温度保持在2190‑2210度;5)机床加工成型;6)表面致密涂层;7)热处理。
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