[发明专利]一种F‑theta光学镜头及激光加工系统

摘要

本发明适用于激光加工技术领域，提供了一种F‑theta光学镜头，包括沿入射光线传输方向依次设置的第一透镜，第二透镜，第三透镜及第四透镜；第一透镜为凹凸负透镜，第二透镜为弯月型正透镜，第三透镜为双凸正透镜，第四透镜为凹凸负透镜；第一透镜、第二透镜及第四透镜的光入射面和光出射面的中间部分均向着光线传输的方向弯曲。本发明能够同时对激光及照明光进行像差校正，整体结构紧凑，加工聚焦光斑小，加工面积大，适用于入射激光波长为1064nm，视觉影像照明光为红光630nm的加工系统，可以在满足激光加工的技术要求的同时消除红光与加工激光波长的像差，能够在红光照明下配合其它工业镜头进行同轴视觉影像定位、量测及监视。

主权项

一种F‑theta光学镜头，其特征在于，包括沿入射光线传输方向依次设置的第一透镜，第二透镜，第三透镜及第四透镜；所述第一透镜为凹凸负透镜，所述第二透镜为弯月型正透镜，所述第三透镜为双凸正透镜，所述第四透镜为凹凸负透镜；所述第一透镜、第二透镜及第四透镜的光入射面和光出射面的中间部分均向着光线传输的方向弯曲；所述第一透镜包括第一曲面和第二曲面，所述第二透镜包括第三曲面和第四曲面，所述第三透镜包括第五曲面和第六曲面，所述第四透镜包括第七曲面和第八曲面；所述第一曲面和第二曲面的曲率半径分别为‑50.22mm、‑171.59mm；所述第三曲面和第四曲面的曲率半径分别为‑143.22mm、‑66.372mm；所述第五曲面和第六曲面的曲率半径分别为2406.194mm、‑101.38mm；所述第七曲面和第八曲面的曲率半径分别为‑98.21mm、‑181.4068mm；各所述曲率半径的修正范围为±5％；所述第一透镜的中心厚度为6.81mm；所述第二透镜的中心厚度为14.01mm；所述第三透镜的中心厚度为19.91mm；所述第四透镜的中心厚度为7.67mm；各所述中心厚度的修正范围为±5％；所述第一透镜的折射率与阿贝数之比为1.85/23.8；所述第二透镜的折射率与阿贝数之比为1.90/31.3；所述第三透镜的折射率与阿贝数之比为1.90/31.3；所述第四透镜的折射率与阿贝数之比为1.85/23.8；各所述折射率与阿贝数之比的修正范围为±5％；所述第一透镜与第二透镜在光轴上的间距为2.01mm；所述第二透镜与第三透镜在光轴上的间距为0.16mm；所述第三透镜与第四透镜在光轴上的间距为2.75mm；各所述间距的修正范围为±5％。