[发明专利]包括钽合金层的器件有效
| 申请号： | 201310253576.4 | 申请日： | 2013-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN103515528B | 公开（公告）日： | 2017-03-01 |
| 发明（设计）人： | E·W·辛格尔顿;谭利文;李宰荣 | 申请（专利权）人： | 希捷科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L43/08 | 分类号： | H01L43/08;H01L43/10 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人： | 毛力 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及包括钽合金层的器件。一种器件，该器件包括传感器叠层，该传感器叠层包括参考层、自由层以及位于该参考层和该自由层之间的阻挡层；籽层；以及覆层，其中该传感器叠层位于该籽层和该覆层之间，并且其中该籽层或该覆层中的至少一层包括TaX，其中X是从Cr、V、Ti、Zr、Nb、Mo、Hf、W或其组合中选择的。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 合金 器件 | ||
【主权项】：
一种包括钽合金层的器件，包括：传感器叠层，所述传感器叠层包括参考层、自由层以及位于所述参考层和所述自由层之间的阻挡层；籽层；以及覆层；其中所述传感器叠层位于所述籽层和所述覆层之间，并且其中所述籽层或所述覆层中的至少一个是由钽合金TaX制成的，其中X是从V、Ti、Zr、Nb、Mo、Hf、W或其组合中选择的，其中，所述籽层、所述覆层、或这两者中所使用的材料是至少部分地基于其研磨速率而选择的。
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