[发明专利]承载装置及其载台平整度的调节方法

摘要

本发明提供一种承载装置，用于承载基板，其包括：载台、基座、电磁铁模组、感测模组和逻辑控制部，其中，电磁铁模组包括相对设置的第一电磁铁组和第二电磁铁组，两电磁铁组通电会形成互斥力；感测模组用以侦测第二表面上与感测模组对应的第一位置与第三表面的实际垂直间距；而逻辑控制部则用以接收感测模组侦测到的实际垂直间距，并比较实际垂直间距与预设值的大小，并根据比较结果控制对应电磁铁模组的互斥力以调整实际垂直间距使其等于预设值。利用本发明能够有效的改善载台在边缘或角落处的下垂变形现象，且更能精准的对载台上下垂变形位置进行平整度校正，避免了现有技术中检测设备的误检。

主权项

一种承载装置，用于承载基板，其特征在于该承载装置包括：载台，具有第一表面和第二表面，该第一表面用于承载该基板；基座，该载台设置于该基座上，该基座具有第三表面，且该第二表面与该第三表面相对设置；至少一组电磁铁模组，每一电磁铁模组包括相对设置的第一电磁铁组和第二电磁铁组，该第一电磁铁组与该第二电磁铁组通电会形成互斥力，该第一电磁铁组设置于该第二表面上，该第二电磁铁组设置于该第三表面上；至少一感测模组，设置于该第二表面及该第三表面的其中之一上，每一感测模组用以侦测该第二表面上与该感测模组对应的第一位置与该第三表面的实际垂直间距；以及逻辑控制部，与该至少一感测模组以及该至少一组电磁铁模组电性连接，该逻辑控制部接收该至少一感测模组侦测到的实际垂直间距，并比较该实际垂直间距与预设值的大小，并根据比较结果控制对应电磁铁模组的该互斥力以调整该实际垂直间距使其等于该预设值。