[发明专利]金刚石表面双阴极等离子沉积纳米涂层的装备与工艺有效
| 申请号： | 201310254624.1 | 申请日： | 2013-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN103361615A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 徐江;揭晓华;王国栋 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | C23C14/42 | 分类号： | C23C14/42;C23C14/18 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 李纪昌;曹翠珍 |
| 地址： | 210016*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双阴极等离子溅射沉积手段在金刚石表面制备纳米涂层的装备以及其制备工艺。该装备包括真空室，双阴极结构，靶材装置、料盘、震荡器，进气口和出气口；双阴极结构包括两个阳极和两个阴极，其中一个阴极连接靶材装置，另一个阴极连接料盘，采用双阴极等离子溅射沉积手段，通过调节靶材和料盘电压以及靶材和料盘中金刚石的距离，控制沉积时间和温度，使靶材金属在金刚石表面形成涂层。本发明通过双阴极等离子溅射沉积手段，所制备的涂层和金刚石有良好的结合力。 | ||
| 搜索关键词： | 金刚石 表面 阴极 等离子 沉积 纳米 涂层 装备 工艺 | ||
【主权项】：
一种金刚石表面双阴极等离子沉积纳米涂层的装备，包括真空室、电源、靶材、监控部件，其特征在于：在所述的真空室中，料盘设置于靶材的一侧，阳极板设置于靶材的另一侧；所述的电源在真空室外部，电源上包括有两个阴极，其中一个阴极连接于靶材，另一个阴极连接于料盘，电源的阳极连接于阳极板，在靶材上还设置有监控部件。
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