[发明专利]一种研磨方法及专用于该研磨方法的研磨头、研磨装置

摘要

本发明公开了一种研磨方法及专用于该研磨方法的研磨头、研磨装置，该研磨头的偏心转盘上可拆固连有固定帽，而研磨片通过固定帽可拆固连在偏心转盘上，具体的，固定帽的套装端套设在偏心转盘的外周上，而外露端内设有将研磨片的边沿部分夹设在其与偏心转盘之间的锁紧沿，在使用时，通过将研磨片转动一个转位角度来使研磨片的转位发生变化，对应的使得研磨片的转位中心和用于研磨插芯的研磨区域发生变化，从而使得研磨片通过转位的变化使得不同的区域被转动到研磨区域，以提高研磨片各部分的利用率。

主权项

一种研磨方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一，将研磨片按照设定的第一转位固定在偏心转盘上、而使研磨片随偏心转盘偏心转动研磨插芯，以得到研磨片在第一转位上用以研磨插芯的圆环状的第一研磨区域，第一研磨区域的中心为第一转位中心；步骤二，将研磨片从偏心转盘上拆下，并以第一转位中心以外的一点为原点将将研磨片相对于偏心转盘转过一个设定的大于0°、小于360°的转位角度，以将研磨片从第一转位转动至设定的第二转位；步骤三，将研磨片按照步骤二中设定的第二转位固定在偏心转盘上、而使研磨片随偏心转盘偏心转动研磨插芯，以得到研磨片在第二转位上用以研磨插芯的圆环状的第二研磨区域，第二研磨区域的中心为第二转位中心，第二转位中心与第一转位中心间隔分布。