[发明专利]基于MEMS的焦距调整装置及其制备方法有效
| 申请号： | 201310255976.9 | 申请日： | 2013-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN103837979A | 公开（公告）日： | 2014-06-04 |
| 发明（设计）人： | 毛剑宏;韩凤芹;唐德明;张镭 | 申请（专利权）人： | 上海丽恒光微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/02 | 分类号： | G02B26/02;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟;王刚 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区张江*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于MEMS的焦距调整装置及其制备方法。基于MEMS的焦距调整装置包括一个可变形透镜；多组导电变形横梁和导电柱，每组中每条导电变形横梁与相邻的导电柱相对应，导电变形横梁和导电柱相互间隔地分布在可变形透镜的周围，导电变形横梁是悬空的，导电变形横梁的内边缘与可变形透镜的外边缘固定粘结；一个或多个固定件，导电变形横梁的外边缘与固定件相固接，导电柱与固定件相固接且保持静止；利用每组中导电变形横梁与导电柱之间的静电力使得可变形透镜被拉伸同时旋转，从而可变形透镜的表面曲率及焦距发生改变。本发明的微机电系统能够实现电制动调焦，体积小、功耗低、制造成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 mems 焦距 调整 装置 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基于MEMS的焦距调整装置，包括：一个可变形透镜；多组导电变形横梁和导电柱，每组中每条导电变形横梁与相邻的导电柱相对应，所述导电变形横梁和导电柱相互间隔地分布在所述可变形透镜的周围，所述导电变形横梁是悬空的，所述导电变形横梁的内边缘与所述可变形透镜的外边缘固定粘结；一个或多个固定件，所述导电变形横梁的外边缘与所述固定件相固接，所述导电柱与所述固定件相固接且保持静止；利用每组中导电变形横梁与导电柱之间的静电力，所述每组中导电变形横梁相对于导电柱移动，由此所述可变形透镜被拉伸，同时所述可变形透镜绕着可变形透镜光轴作顺时针或逆时针旋转，从而所述可变形透镜的表面曲率及焦距发生改变。
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