[发明专利]一种石英坩埚、其制备方法及专用模具在审
申请号: | 201310258274.6 | 申请日: | 2013-06-25 |
公开(公告)号: | CN104250850A | 公开(公告)日: | 2014-12-31 |
发明(设计)人: | 孟涛 | 申请(专利权)人: | 镇江荣德新能源科技有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06;C03B20/00 |
代理公司: | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人: | 黄威;胡上海 |
地址: | 212200 江苏省镇*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种石英坩埚,包括敞口的坩埚本体,所述坩埚本体的内底面均匀设置有多个用于在多晶硅铸锭工艺中作为形核点的盲孔。本发明的石英坩埚,在石英坩埚的内底面上形成若干在多晶硅铸锭工艺中作为形核点的盲孔,通过热场与工艺的配合,控制长晶初期的过冷度,从而可以得到均匀的具有一定尺寸大小的小晶粒。本发明的石英坩埚制备成本低且形核点均匀、适宜。本发明还公开了制备石英坩埚的方法以及用于制备石英坩埚的专用模具。 | ||
搜索关键词: | 一种 石英 坩埚 制备 方法 专用 模具 | ||
【主权项】:
一种石英坩埚,包括敞口的坩埚本体,其特征在于,所述坩埚本体的内底面均匀设置有多个用于在多晶硅铸锭工艺中作为形核点的盲孔。
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