[发明专利]一种单晶炉有效

专利信息
申请号: 201310261116.6 申请日: 2013-06-26
公开(公告)号: CN103334153A 公开(公告)日: 2013-10-02
发明(设计)人: 白剑铭 申请(专利权)人: 英利能源(中国)有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 魏晓波
地址: 071051 河*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 发明公开了一种单晶炉,包括炉体;加热器,设于所述炉体内的下周壁;坩埚托杆,通过设置在所述炉体底部中央的开口贯穿所述炉体的底部,其上端固定有支撑坩埚的坩埚托盘,且能够带动所述坩埚托盘在竖直方向上移动;还包括隔热部件,套设于所述坩埚托杆;单晶炉处于加热工艺段时,所述隔热部件与所述炉体底部的压片抵接;单晶炉处于等径工艺段时,所述隔热部件位于所述坩埚托杆和所述加热器的下部之间。当单晶炉处于等径工艺段时,由于隔热部件的设置,有效地防止了加热器下部产生的热量被坩埚托杆吸收,减缓了热场下部温度的下降,从而减少了热量的损失,降低了单晶炉运行的加热器功率,节约了电能。
搜索关键词: 一种 单晶炉
【主权项】:
一种单晶炉,包括:炉体;加热器,设于所述炉体内的下周壁;坩埚托杆,贯穿所述炉体的底部,其上端固定有支撑坩埚的坩埚托盘,且能够带动所述坩埚托盘在竖直方向上移动;其特征在于,还包括:隔热部件,套设于所述坩埚托杆;单晶炉处于加热工艺段时,所述隔热部件与所述炉体底部的压片抵接;单晶炉处于等径工艺段时,所述隔热部件位于所述坩埚托杆和所述加热器的下部之间。
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