[发明专利]一种单晶炉有效
申请号: | 201310261116.6 | 申请日: | 2013-06-26 |
公开(公告)号: | CN103334153A | 公开(公告)日: | 2013-10-02 |
发明(设计)人: | 白剑铭 | 申请(专利权)人: | 英利能源(中国)有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 魏晓波 |
地址: | 071051 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本发明公开了一种单晶炉,包括炉体;加热器,设于所述炉体内的下周壁;坩埚托杆,通过设置在所述炉体底部中央的开口贯穿所述炉体的底部,其上端固定有支撑坩埚的坩埚托盘,且能够带动所述坩埚托盘在竖直方向上移动;还包括隔热部件,套设于所述坩埚托杆;单晶炉处于加热工艺段时,所述隔热部件与所述炉体底部的压片抵接;单晶炉处于等径工艺段时,所述隔热部件位于所述坩埚托杆和所述加热器的下部之间。当单晶炉处于等径工艺段时,由于隔热部件的设置,有效地防止了加热器下部产生的热量被坩埚托杆吸收,减缓了热场下部温度的下降,从而减少了热量的损失,降低了单晶炉运行的加热器功率,节约了电能。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 | ||
【主权项】:
一种单晶炉,包括:炉体;加热器,设于所述炉体内的下周壁;坩埚托杆,贯穿所述炉体的底部,其上端固定有支撑坩埚的坩埚托盘,且能够带动所述坩埚托盘在竖直方向上移动;其特征在于,还包括:隔热部件,套设于所述坩埚托杆;单晶炉处于加热工艺段时,所述隔热部件与所述炉体底部的压片抵接;单晶炉处于等径工艺段时,所述隔热部件位于所述坩埚托杆和所述加热器的下部之间。
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