[发明专利]具有窗口的化学机械抛光层的制造方法有效
| 申请号： | 201310262744.6 | 申请日： | 2013-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN103358226A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | B·坎特尔;K·麦克休;J·穆奈恩;G·麦克克莱恩;D·赫特;R·A·布拉迪;C·A·杨;J·B·米勒 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/11 | 分类号： | B24B37/11 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 具有窗口的化学机械抛光层的制造方法。提供一种用于化学机械抛光垫的抛光层的形成方法，所述方法包括：提供模具；提供衬套；提供衬套粘合剂；提供窗口块；提供窗口粘合剂；提供可固化材料；提供喷嘴；提供切割刀片；提供打磨带；提供打磨复合物；使用衬套粘合剂将衬套的底表面结合至模基体，其中衬套的上表面和环绕壁限定出模腔；使用窗口粘合剂将窗口块结合至衬套的上表面；在加料时间段CP通过喷嘴开口将可固化材料加入到模腔中；使可固化材料在模腔中固化成饼状；将模基体和饼与环绕壁分离；将打磨复合物应用到切削刃；使用打磨带打磨切割刀片；并且将饼切片为多个化学机械抛光层，每个抛光层具有整体的窗口。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 窗口 化学 机械抛光 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种用于化学机械抛光垫的抛光层的形成方法，所述方法包括： 提供模具，所述模具具有模基体和连接到模基体的环绕壁； 提供具有上表面、底表面和平均厚度为2至10cm的衬套； 提供衬套粘合剂； 提供窗口块； 提供窗口粘合剂； 提供包括液体预聚物的可固化材料； 提供具有喷嘴开口的喷嘴； 提供具有切削刃的切割刀片； 提供打磨带； 提供打磨复合物； 使用衬套粘合剂将衬套的底表面结合至模基体，其中衬套的上表面和环绕壁限定出模腔； 使用窗口粘合剂将窗口块结合至衬套的上表面； 在加料时间段CP通过喷嘴开口将可固化材料加入到模腔中； 使可固化材料在模腔中固化成饼状； 将模基体和饼与环绕壁分离； 将打磨复合物应用到切削刃； 使用打磨带打磨切割刀片；并且 将饼切片为多个化学机械抛光层，每个抛光层具有整体的窗口。
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