[发明专利]化学机械抛光层的制造方法有效
| 申请号： | 201310262745.0 | 申请日： | 2013-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN103358238A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | B·坎特尔;K·麦克休;J·穆奈恩;G·麦克克莱恩;D·赫特;R·A·布拉迪;C·A·杨;J·B·米勒 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司 |
| 主分类号： | B24D18/00 | 分类号： | B24D18/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 化学机械抛光层的制造方法。提供一种用于化学机械抛光垫的抛光层的形成方法，包括：提供模具；提供具有上表面、底表面和平均厚度为2至10cm的衬套；提供粘合剂；提供包括液体预聚物的可固化材料；提供具有喷嘴开口的喷嘴；提供具有切削刃的切割刀片；提供打磨带；提供打磨复合物；使用粘合剂将衬套的底表面结合至模基体；在加料时间段CP通过喷嘴开口将可固化材料加入到模腔中；使可固化材料在模腔中固化成饼状；将模基体和饼与环绕壁分离；将打磨复合物应用到切削刃；使用打磨带打磨切割刀片；并且将饼切片为多个化学机械抛光层。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械抛光 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种用于化学机械抛光垫的抛光层的形成方法，所述方法包括：提供模具，所述模具具有模基体和连接到模基体的环绕壁；提供具有上表面、底表面和平均厚度为2至10cm的衬套；提供粘合剂；提供包括液体预聚物的可固化材料；提供具有喷嘴开口的喷嘴；提供具有切削刃的切割刀片；提供打磨带；提供打磨复合物；使用粘合剂将衬套的底表面结合至模基体，其中衬套的上表面和环绕壁限定出模腔；在加料时间段CP通过喷嘴开口将可固化材料加入到模腔中；使可固化材料在模腔中固化成饼状；将模基体和饼与环绕壁分离；将打磨复合物应用到切削刃；使用打磨带打磨切割刀片；并且将饼切片为多个化学机械抛光层。
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