[发明专利]用于检测玻璃衬底的表面缺陷的设备和方法有效
申请号: | 201310263626.7 | 申请日: | 2011-11-11 |
公开(公告)号: | CN103399018A | 公开(公告)日: | 2013-11-20 |
发明(设计)人: | 黄圭弘;金泰皓;郑址和;权载勋;马克·肯曼;玛寇·瓦泰尔;艾瑞克·路赫斯;安捷斯·博克 | 申请(专利权)人: | 三星康宁精密素材株式会社;宝斯拉视觉技术股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/896 | 分类号: | G01N21/896 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 臧建明;张洋 |
地址: | 韩国庆尚北*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明涉及一种用于检测玻璃衬底的表面缺陷的设备和方法。用于检测玻璃衬底的表面缺陷的设备,包含:第一照相装置,安置在玻璃衬底上方以便拍摄玻璃衬底上的表面缺陷的第一图像;第二照相装置,安置在玻璃衬底上方以便拍摄玻璃衬底上的表面缺陷的第二图像;暗场照明系统,安置在玻璃衬底下方以充当朝向第一照相装置和第二照相装置而穿透玻璃衬底的暗场照明;以及检测信号处理器,其操作第一图像上的缺陷位置的坐标和第二图像上的缺陷位置的坐标,其中第一照相装置和第二照相装置形成呈不平行于玻璃衬底的至少转移方向的线形状的照相区域,形成针对玻璃衬底的顶部表面的将彼此重叠的照相区域,且形成针对玻璃衬底的底部表面的彼此不同的照相区域。 | ||
搜索关键词: | 用于 检测 玻璃 衬底 表面 缺陷 设备 方法 | ||
【主权项】:
一种具有暗场光学系统的用于检测玻璃衬底的表面缺陷的设备,其包括:第一照相装置,其安置在玻璃衬底上方以用于拍摄所述玻璃衬底上的表面缺陷的第一图像;第二照相装置,其安置在玻璃衬底上方以用于拍摄所述玻璃衬底上的所述表面缺陷的第二图像;暗场照明系统,其安置在所述玻璃衬底下方以用于充当朝向所述第一照相装置和所述第二照相装置而穿透所述玻璃衬底的暗场照明;以及检测信号处理器,其操作所述第一图像上的缺陷位置的坐标和所述第二图像上的缺陷位置的坐标;其中所述第一照相装置和所述第二照相装置形成呈不平行于所述玻璃衬底的至少转移方向的线形状的照相区域,形成针对所述玻璃衬底的顶部表面的将彼此重叠的照相区域,且形成针对所述玻璃衬底的底部表面的彼此不同的照相区域。
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