[发明专利]一种无执行机构的曲面形状精密测量装置与方法

摘要

一种无执行机构的曲面形状精密测量装置与方法属于三维表面形貌测量领域。该装置包括多角度照明光路和曲面形状测量光路；多角度照明光路中，从光源发出的光束依次经过聚光镜、针孔和准直透镜后，平行入射到透射式液晶空间光调制器一，调制后平行射出，经分光棱镜反射后平行照射到被测样品表面；曲面形状测量光路中，被测样品反射的光线依次经过分光棱镜、透射式液晶空间光调制器二和成像物镜，由图像传感器成像。该方法通过透射式液晶空间光调制器一和透射式液晶空间光调制器二相配合，得到不同角度照明下的被测样品的不同层位置照片，通过挑选最佳照明角度，整合照片，构造被测样品的曲面形状。本发明无执行机构，测量精度高，速度快。

主权项

一种无执行机构的曲面形状精密测量装置，其特征在于：包括多角度照明光路和曲面形状测量光路；所述的多角度照明光路沿光线传播方向依次放置：光源（1）、聚光镜（2）、针孔（3）、准直透镜（4）、透射式液晶空间光调制器一（5）、分光棱镜（6）以及被测样品（7），聚光镜（2）将光源（1）发出的光束会聚在针孔（3）上，从针孔（3）岀射的光束经准直透镜（4）准直后，平行入射到透射式液晶空间光调制器一（5），经透射式液晶空间光调制器一（5）调制后平行射出，经分光棱镜（6）反射后平行照射到被测样品（7）表面；所述的曲面形状测量光路沿光线传播方向依次放置被测样品（7）、分光棱镜（6）、透射式液晶空间光调制器二（8）、成像物镜（9）以及图像传感器（10），被测样品（7）反射的光线透过分光棱镜（6）经透射式液晶空间光调制器二（8）准直后，再由成像物镜（9）会聚到图像传感器（10）进行成像。