[发明专利]一种提高激光间接微压印成形能力的复合飞片

摘要

本发明公开了一种提高激光间接微压印成形能力的复合飞片，该复合飞片为三层结构，包括通过磁控溅射在作为约束层的光学介质K9玻璃上制备的Ti膜吸收层、在Ti膜吸收层上制备的Al膜烧蚀层、通过冲裁装置获得的直径3mm的Al冲击飞片，Ti膜吸收层和Al膜烧蚀层组成Ti-Al膜层，Al冲击飞片粘贴在Ti-Al膜层的中心形成复合飞片。使用本发明的复合飞片后，成形工件的压印深度统一，成形质量好；复合飞片的完整性和稳定性高，工件在与飞片碰撞变形过程中受力更均匀，飞片的成形能力和成形质量明显提高；本发明的复合飞片与K9玻璃的连接强度高、激光能量耦合效率高、飞片的完整性好。

主权项

一种提高激光间接微压印成形能力的复合飞片，其特征在于：所述复合飞片为三层结构，包括通过磁控溅射在作为约束层（15）的光学介质K9玻璃上制备的Ti膜吸收层（16）、在Ti膜吸收层（16）上制备的Al膜烧蚀层（17）、通过冲裁装置获得的直径3mm的Al冲击飞片（18），所述Ti膜吸收层（16）和Al膜烧蚀层（17）组成Ti‑Al膜层，所述Al冲击飞片（18）粘贴在Ti‑Al膜层的中心形成复合飞片。