[发明专利]用于带电粒子束系统的同轴检测器在审
| 申请号： | 201310268310.7 | 申请日： | 2013-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN103531426A | 公开（公告）日： | 2014-01-22 |
| 发明（设计）人： | A.格劳佩拉;N.W.帕克;M.W.乌特劳特 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张涛;刘春元 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于带电粒子束系统的分割栅极多通道次级粒子检测器包括第一栅极段和第二栅极段，每个栅极段具有独立的、产生电场的偏置电压，以便将从靶上发射出来的同轴次级粒子引导向这些栅极之一。可以改变或反转这些栅极的偏置电压，以便每个栅极可以用于检测次级粒子，并且该多通道粒子检测器作为整体可以延长其使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 带电 粒子束 系统 同轴 检测器 | ||
【主权项】：
一种带电粒子束系统，包括：形成带电粒子束的带电粒子源；用于使该带电粒子束聚焦到靶上的聚焦柱；真空室，该真空室包含用于保持该靶的靶台；同轴次级粒子检测器，该检测器具有用于使该初级束通过的同轴孔和检测部分；以及位于该靶台和该粒子检测器之间的场源，该场源提供使次级粒子偏转离开该次级粒子检测器内的同轴孔并偏转到该检测部分上的场。
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