[发明专利]成膜装置用基板传送托盘及外部开闭驱动装置无效
| 申请号： | 201310268416.7 | 申请日： | 2013-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN103726010A | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 饭尾逸史 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 徐殿军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种成膜装置用基板传送托盘及外部开闭驱动装置，该成膜装置用基板传送托盘实现在保持基板时作用于基板的应力的分散化，并且从多个方向保持基板。所述成膜装置用基板传送托盘构成为具备：托盘主体（21），在将与基板的板厚方向正交且相互交叉的2个方向设为第1方向及第2方向时，在第1方向上对置的一对边平行，并且在第2方向上对置的一对边平行；及基板支承部件（51），能够维持与边平行的状态的同时向托盘主体的中央侧移动，且能够与基板的端面抵接；并且，将基板支承部件安装于每个边（31～33）。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 用基板 传送 托盘 外部 开闭 驱动 | ||
【主权项】：
一种成膜装置用基板传送托盘，其在成膜装置中传送基板时能够保持所述基板，其中，将与被保持的所述基板的板厚方向正交且相互交叉的2个方向设为第1方向及第2方向，所述成膜装置用基板传送托盘具备：托盘主体，在所述第1方向上对置的一对边平行，并且在所述第2方向上对置的一对边平行；及基板支承部件，能够维持与所述边平行的状态并能够向所述托盘主体的中央侧移动，且能够与所述基板的端面抵接，所述基板支承部件被安装于每个所述边。
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