[发明专利]用于真空室的气动式仓门密封结构

摘要

本发明公开了一种用于真空室的气动式仓门密封结构，包括真空室，在真空室的前端部设置有仓门，真空室与仓门接触的部位设置有密封圈，在真空室的前端部上方设置有支架，在支架上安装有气缸，仓门通过连接套和销轴与气缸的气缸杆连接，在仓门的两侧分别设有导向轨和导向销。在导向轨的中上部形成上左下右的弯曲的导向槽，导向销的一端与仓门固定连接，另一端插入导向槽内、并能在导向槽内自由滑动。本发明结构简单、操作方便，动作灵活、密封性好，真空度可达≤6Pa，漏率≤10-7Pa·m-3·s-1，开启或关闭时间小于3s。可连续工作，适应大批量生产线的需要。

主权项

一种用于真空室的气动式仓门密封结构，包括真空室（1），在真空室（1）的前端部设置有仓门（2），其特征在于：在所述的真空室（1）与仓门（2）接触的部位设置有密封圈（8），在真空室（1）的前端部上方设置有支架（4），在支架（4）上安装有气缸（3），仓门（1）通过连接套（5）和销轴（6）与气缸（3）的气缸杆（7）连接，在仓门（1）的两侧分别设有导向轨（10）和导向销（11）。