[发明专利]CO2激光器输出光轴实时直接监测方法

摘要

CO2激光器输出光轴实时直接监测方法，属于光学机械领域，解决了现有方法结构连接复杂、装调难度大、无法有效监测CO2激光器输出光轴的问题。该方法为将CO2激光器输出窗口镜的CO2激光器激光输出区镀增透膜，可见光反射区镀反射膜；CO2激光入射至二维镜上并由其反射，激光自准直仪的激光入射至二维镜上并由其反射至可见光反射区，反射后的激光自准直仪激光按原路返回激光自准直仪；调整激光自准直仪使激光自准直仪的激光与反射后的激光重合；计算机通过激光自准直仪监测到的CO2激光器输出光轴的变化量控制二维镜移动，修正输出光轴方向。本发明不需装调小反射镜固定装置，省略光轴基准过渡，降低了装调难度和误差，监测精度高。

主权项

CO2激光器输出光轴实时直接监测方法，其特征在于，该方法的条件和步骤如下：步骤一、将CO2激光器输出窗口镜的外表面分区镀膜，CO2激光器激光输出区镀增透膜，可见光反射区镀反射膜；步骤二、CO2激光器发出的CO2激光入射至二维镜上并由二维镜反射出去，激光自准直仪的激光入射至二维镜上并由二维镜反射至CO2激光器输出窗口镜的可见光反射区，经可见光反射区反射后的激光自准直仪的激光再次按照原路返回至激光自准直仪内；步骤三、调整激光自准直仪使激光自准直仪的激光与反射后的激光自准直仪的激光重合即自准；步骤四、计算机通过激光自准直仪监测到的CO2激光器输出光轴的变化量控制二维镜移动，对CO2激光器输出光轴方向进行修正。