[发明专利]一种体全息透射光栅衍射效率测试仪

摘要

本发明涉及一种体全息透射光栅衍射效率测试仪，包括：光源模块、前置单色仪、测量单色仪和测控系统；所述前置单色仪可在将所述光源模块提供的光源进行光学处理后，为所述测量单色仪提供测量光源；所述测控系统可将所述测量单色仪进行测量后得到的信号光进行检测和衍射效率的计算；所述的测量单色仪的壳体内分别设有在光路方向上依次设置的：第二入射狭缝、第二凹面准直镜、第三平面反射镜、样品夹具、第四平面反射镜、第二凹面成像镜、以及第二出射狭缝。本发明能够同时实现体全息透射光栅相对衍射效率和绝对衍射效率的测量；具有可拆卸的宽波段的偏振片，利用本发明也可实现体全息透射光栅偏振衍射效率的测试，真正实现了一机多用。

主权项

一种体全息透射光栅衍射效率测试仪，其特征在于，包括：光源模块、前置单色仪、测量单色仪和测控系统；所述前置单色仪可在将所述光源模块提供的光源进行光学处理后，为所述测量单色仪提供测量光源；所述测控系统可将所述测量单色仪进行测量后得到的信号光进行检测和衍射效率的计算；所述的测量单色仪的壳体（44）内分别设有在光路方向上依次设置的：第二入射狭缝（32）、第二凹面准直镜（33）、第三平面反射镜（35）、样品夹具（36）、第四平面反射镜（41）、第二凹面成像镜（42）、以及第二出射狭缝（43）；所述第二凹面准直镜（33）安置在第二入射狭缝（32）和光束经透镜组（31）的光路光轴上；所述第三平面反射镜（35）设置在第二转台（34）上；所述第四平面反射镜（41）设置在第三转台（40）上；所述样品夹具（36）设置在夹具轨道（39）上；所述样品夹具（36）上可以放置待测体全息透射光栅（37）或参考透射镜（38），样品夹具（36）可以沿着夹具轨道（39）移动；所述第二出射狭缝（43）位于第二凹面成像镜（42）的反射光束的光路上，且位于第二凹面成像镜（42）的焦面上；所述第二凹面成像镜（42）可将信号光反射至测控系统。