[发明专利]选镀制品显影制程清洗系统有效
申请号: | 201310271227.5 | 申请日: | 2013-07-01 |
公开(公告)号: | CN103324039A | 公开(公告)日: | 2013-09-25 |
发明(设计)人: | 王红波;从治刚;王世杰 | 申请(专利权)人: | 淳华科技(昆山)有限公司 |
主分类号: | G03F7/42 | 分类号: | G03F7/42 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 孙仿卫 |
地址: | 215300 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种选镀制品显影制程清洗系统,包括由前向后依次设置的显影槽、放流水洗槽、中和槽、前水洗槽、清洗槽和后水洗槽;前水洗槽由前向后依次包括若干个第一子水洗槽并供入离子水;后水洗槽由前向后依次包括由若干个第二子水洗槽构成并供入市水的第一后水洗槽组、由若干个第三子水洗槽构成并供入去离子水的第二子水洗槽组;其还包括暂存筒槽,前水洗槽、第二后水洗槽组分别与暂存筒槽相连接并分别向暂存筒槽中供入去离子水,暂存筒槽中还供入有碳酸氢钠溶液,暂存筒槽与中和槽相连接并向中和槽中供入中和液。本发明能够管控清洗各段的水质,利于浮渣的顺利清除,避免软性印刷线路板清洗不净的问题,还提高了去离子水的利用率。 | ||
搜索关键词: | 制品 显影 清洗 系统 | ||
【主权项】:
一种选镀制品显影制程清洗系统,用于在软性印刷线路板进行图形电镀时的显影制程中对其进行清洗,其特征在于:所述的选镀制品显影制程清洗系统包括由前向后依次设置的盛放有显影液的显影槽、具有双面喷淋装置的放流水洗槽、盛放有中和液的中和槽、盛放有去离子水的前水洗槽、盛放有碳酸氢钠清洗液的清洗槽和盛放有水的后水洗槽;所述的前水洗槽由前向后依次包括若干个第一子水洗槽,所述的去离子水由最后的一个所述的第一子水洗槽供入所述的前水洗槽中,且位于较后位置的所述的第一子水洗槽通过溢流为其前方的所述的第一子水洗槽供水;所述的后水洗槽由前向后依次包括由若干个第二子水洗槽构成并供入市水的第一后水洗槽组、由若干个第三子水洗槽构成并供入去离子水的第二子水洗槽组;所述的第一后水洗槽组中,所述的市水由最后的一个所述的第二子水洗槽供入所述的第一后水洗槽组中,且位于较后位置的所述的第二子水洗槽通过溢流为其前方的所述的第二子水洗槽供水;所述的第二后水洗槽组中,所述的去离子水由最后的一个所述的第三子水洗槽供入所述的第二后水洗槽组中,且位于较后位置的所述的第三子水洗槽通过溢流为其前方的所述的第三子水洗槽供水;所述的选镀制品显影制程清洗系统还包括暂存筒槽,所述的前水洗槽、所述的第二后水洗槽组分别与所述的暂存筒槽相连接并分别向所述的暂存筒槽中供入去离子水,所述的暂存筒槽中还供入有碳酸氢钠溶液,所述的碳酸氢钠溶液和所述的去离子水在所述的暂存筒槽中配比为所述的中和液,所述的暂存筒槽与所述的中和槽相连接并向所述的中和槽中供入所述的中和液。
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