[发明专利]一种单凸梁式微机械加速度传感器无效
| 申请号： | 201310271573.3 | 申请日： | 2013-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN103308718A | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 孙远程;袁明权;张茜梅;王海青;武蕊;屈明山 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12 |
| 代理公司： | 中国工程物理研究院专利中心 51210 | 代理人： | 翟长明;韩志英 |
| 地址： | 621900 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种单凸梁式微机械加速度传感器。所述的传感器包括敏感芯片和下玻璃板；其中，敏感芯片含有框架、敏感凸梁、质量块及压敏电阻；其连接关系是，所述框架内设置有敏感凸梁，敏感凸梁一端与框架相连，另一端与质量块相连，敏感凸梁和质量块共同构成敏感芯片的可动部分；压敏电阻设置在敏感凸梁上表面：所述的敏感芯片与下玻璃板通过键合连接。所述的敏感芯片中敏感凸梁采用长度相等的上下两个矩形梁复合而成，上窄下宽。所述的敏感芯片中的可动部分与下玻璃板之间有间隙。本发明的单凸梁微机械加速度传感器在相同固有频率下灵敏度比普通悬臂梁高，反之在相同灵敏度的情况下则有更高的固有频率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单凸梁 式微 机械 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
一种单凸梁式微机械加速度传感器，其特征在于：所述的传感器包括敏感芯片和下玻璃板（5）；其中，敏感芯片含有框架（1）、敏感凸梁（2）、质量块（3）、压敏电阻，其连接关系是,所述框架（1）内设置有敏感凸梁（2），敏感凸梁（2）的一端与框架（1）相连，另一端与质量块（3）相连，敏感凸梁（2）和质量块（3）共同构成敏感芯片的可动部分；压敏电阻设置在敏感凸梁（2）上表面：所述的敏感芯片与下玻璃板（5）通过键合连接。
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