[发明专利]坩埚材料量检测装置、方法及蒸镀机无效
| 申请号： | 201310275092.X | 申请日： | 2013-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN104278249A | 公开（公告）日： | 2015-01-14 |
| 发明（设计）人： | 林进志;周皓煜;黄俊允 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/24 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 赵根喜;李昕巍 |
| 地址： | 201500 上海市金山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种坩埚材料量检测装置、方法及蒸镀机，所述坩埚材料量检测装置包括：称量模块，包括设置于坩埚底部的多个传感器，用于感测所述坩埚的重量；运算模块，用于接收所述多个传感器传送的感测数据，计算所述坩埚内的剩余材料量；控制模块，用于将所述运算模块计算所得的剩余材料量与设定的剩余材料量比较，当计算所得的剩余材料量小于设定的剩余材料量时，发出一控制指令。本发明能够精准检测坩埚内所剩材料量。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 材料 检测 装置 方法 蒸镀机 | ||
【主权项】：
一种坩埚材料量检测装置，其中，所述坩埚材料量检测装置包括：称量模块，包括设置于坩埚底部的多个传感器，用于感测所述坩埚的重量；运算模块，用于接收所述多个传感器传送的感测数据，计算所述坩埚内的剩余材料量；控制模块，用于将所述运算模块计算所得的剩余材料量与设定的剩余材料量比较，当计算所得的剩余材料量小于设定的剩余材料量时，发出一控制指令。
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