[发明专利]高效三叠层异质结薄膜太阳能电池及其制备方法

摘要

一种高效三叠层异质结薄膜太阳能电池，包括三结叠层串联的子电池；第一结为底电池，是由P1层、N1层构成的PN结结构，P1层为CuInSe2材料、N1层为CdS材料；第二结为中电池，第三结为顶电池，均为NIP结构；第一结与第二结电池之间具有一层10nm厚度的过渡层，采用本征非晶硅材料，过渡层与第一结、第二结接触的界面用等离子体轰击处理；第二结与第三结电池之间镀有SiOx中间层；第一结电池镀在具有背电极钼层的玻璃基板上，第三结电池顶部依次镀有导电窗口层、减反层和栅电极。本发明提高了光电转换效率，有效地降低了单位成本，本发明的电池结构性能稳定，可保证长期使用的电性能稳定性。

主权项

一种高效三叠层异质结薄膜太阳能电池，其特征在于包括三结叠层串联的子电池；第一结为底电池，是由P1层、N1层构成的PN结结构，P1层为CuInSe2材料、N1层为CdS材料；第二结为中电池，为P2层、I2层、N2层构成的NIP结构，P2层为μ‑Si：H掺三甲基硼材料、I2层为光吸收层采用μc‑SiGe材料、N2层为μ‑Si：H掺磷烷材料；第三结为顶电池，为P3层、I3层、N3层构成的NIP结构，P3层为μ‑Si：H掺三甲基硼材料、I3层为光吸收层采用微晶硅μc‑Si材料、N3层为a‑Si：H掺磷烷材料；第一结与第二结电池之间具有一层10nm厚度的过渡层，采用本征非晶硅材料，过渡层与第一结、第二结接触的界面用等离子体轰击处理；第二结与第三结电池之间镀有SiOx中间层；第一结电池镀在具有背电极钼层的玻璃基板上，第三结电池顶部依次镀有导电窗口层、减反层和栅电极。