[发明专利]烧结体及非晶膜在审
| 申请号： | 201310276943.2 | 申请日： | 2013-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN103524119A | 公开（公告）日： | 2014-01-22 |
| 发明（设计）人： | 奈良淳史 | 申请（专利权）人： | 吉坤日矿日石金属株式会社 |
| 主分类号： | C04B35/01 | 分类号： | C04B35/01;C23C14/34;C23C14/08 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 王海川;穆德骏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供烧结体及非晶膜。一种烧结体，其特征在于，由锌(Zn)、三价金属元素、锗(Ge)和/或硅(Si)、氧(O)构成，设三价金属元素的总含量以氧化物换算为A摩尔%、Ge和/或Si的总含量以GeO2和/或SiO2换算为B摩尔%时，15≤A+B≤70。根据本发明，体电阻低而能够进行DC溅射。利用这些烧结体能够形成低折射率的非晶薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 烧结 非晶膜 | ||
【主权项】：
一种烧结体，其特征在于，由锌(Zn)、三价金属元素、锗(Ge)和/或硅(Si)、氧(O)构成，设三价金属元素的总含量以氧化物换算为A摩尔%、Ge和/或Si的总含量以GeO2和/或SiO2换算为B摩尔%时，15≤A+B≤70。
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