[发明专利]一种微机械谐振器无效
| 申请号： | 201310278034.2 | 申请日： | 2013-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN103368521A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 董靓;周志健;陈永康;刘政谚;许国辉;邝国华;冯良;杨恒;李昕欣 | 申请（专利权）人： | 广东合微集成电路技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/24 | 分类号： | H03H9/24 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 马晓亚 |
| 地址： | 523808 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微机械谐振器，包括谐振部分以及围绕谐振部分一个或一个以上的连接部分，其中，所述连接部分包含：第一级耦合梁，与所述谐振部分连接；附加耦合梁结构，包含至少一个耦合梁，与所述第一耦合梁连接；一个或多个锚点，分别位于最末级耦合梁的端点上。本发明通过附加耦合梁结构降低了锚点的能量损耗，从而有效地提高了微机械谐振器的Q值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微机 谐振器 | ||
【主权项】：
一种微机械谐振器，其特征在于，包括谐振部分以及围绕所述谐振部分一个或一个以上的连接部分，其中，所述连接部分包含：第一级耦合梁，与所述谐振部分连接；附加耦合梁结构，包含至少一个耦合梁，与所述第一耦合梁连接；一个或多个锚点，分别位于最末级耦合梁的端点上。
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