[发明专利]一种复合反射电极、制备方法及有机电致发光器件

摘要

一种复合反射电极、制备方法及有机电致发光器件，复合反射电极设置有银薄膜和作为保护层的非晶透明氧化物薄膜；非晶透明氧化物薄膜为金属氧化物(In2O3)x(MO)y(ZnO)z，非晶透明氧化物薄膜的厚度为5~15nm。复合反射电极的制备方法是采用物理气相沉积法沉积银薄膜和非晶透明氧化物薄膜作为保护层，再对所形成的复合薄膜采用磷酸基刻蚀液刻蚀进行图形化得到复合反射电极。该复合反射电极能够提高银薄膜的温度稳定性及空气存储稳定性。其制备工艺简单，易图形化。具有该复合电极的有机电致发光器件具有性能优良、制备工艺简单的特点。

主权项

一种复合反射电极，其特征在于：设置有作为下层金属的银薄膜和作为保护层的非晶透明氧化物薄膜；所述非晶透明氧化物薄膜为金属氧化物(In2O3)x(MO)y(ZnO)z，其中0≤x≤1，0≤y≤1，0≤z≤1，且x+y+z=1，M为镓、锡、硅、铝、镁、钽、铪、镱、镍、锆或镧系稀土元素中的一种元素或两种以上的元素的任意组合。