[发明专利]一种高灵敏度的OTFTpH传感器的制作及pH检测

摘要

本发明的目的在于提供一种高灵敏度的OTFT pH传感器的制作方法及用这种OTFT器件所做的pH验证。它首先是采用常用的半导体器件的制作工艺，制备出栅极带有开槽的TFT器件，并对这种器件按现有的封装工艺进行封装。通过在栅极开槽的区域采用电化学沉积电子聚合物膜，制成OTFT pH传感器。对制备的器件采用半导体特性测试仪对其在溶液中的pH敏感特性进行测试，发现在溶液的pH为2到7的范围内，OTFT器件的阈值电压与pH之间有着良好的线性关系，其直线的斜率为0.955V/pH。比普通的ISFET器件对H+的灵敏度高出15倍。

主权项

一种高灵敏度的OTFT pH传感器的制作方法，其特征在于包括下列步骤：(1)生长一定厚度的场氧化层；(2)采用正性光刻胶光刻源、漏区；(3)留胶磷注入形成源、漏区；(4)采用正性光刻胶光刻衬底接触孔；(5)留胶硼注入；(6)去胶；(7)采用正性光刻胶光刻有源区，所述有源区包括栅区、源孔区、漏孔区；(8)腐蚀SiO2层：(9)生长一定厚度的栅氧化层；(10)采用正性光刻胶光刻接触引线孔区；(11)溅射一定厚度的金属铝；(12)采用负性光刻胶反刻金属区，去除部分金属栅，制得具有开槽栅极的晶体管；(13)对制备的器件按传统的半导体工艺进行封装；(14)将封装好的具有开槽栅极的晶体管(TFT)的栅极作为工作电极，一根铂丝为对电极，饱和甘汞电极为参比电极，放进事先配好的电解液中采用电化学方法在具有开槽栅极的晶体管(TFT)的栅极沉积电子聚合物膜制成有机场效应管晶体管(OTFT)pH传感器，所述电解液包含电子聚合物单体、盐和磷酸盐缓冲溶液。