[发明专利]一种贵金属掺杂WO3气敏涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201310283496.3 | 申请日： | 2013-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN104278228A | 公开（公告）日： | 2015-01-14 |
| 发明（设计）人： | 黄晶;袁建辉;李华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C4/10 | 分类号： | C23C4/10 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 刘诚午 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超薄多孔亚微米结构的贵金属掺杂三氧化钨涂层及其制备方法，以贵金属纳米粒子掺杂WO3悬浮液作为喷涂原料，通过热喷涂工艺将所述的喷涂原料喷涂沉积到基体上，获得厚度5～20μm且多孔亚微米结构的贵金属掺杂WO3气敏涂层。该涂层中贵金属的含量在0.067wt%～2.440wt%。本发明得到的WO3涂层具备较高的比表面积，而且贵金属的掺杂也能有效提高WO3涂层的气敏特性。此外，本发明制备贵金属掺杂WO3涂层的设备及工艺简单、易控，沉积效率高，成本较低，适合工业化生产，有望产生极大的社会经济效益。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 贵金属 掺杂 wo sub 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种贵金属掺杂WO3气敏涂层的制备方法，其特征在于，以贵金属纳米粒子掺杂WO3悬浮液作为喷涂原料，通过热喷涂工艺将所述的喷涂原料喷涂沉积到基体上，获得厚度5～20μm且多孔亚微米结构的贵金属掺杂WO3气敏涂层。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法，例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理，例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
C23C4-12 .以喷镀方法为特征的
C23C4-18 .后处理
C23C4-14 ..用于长形材料的镀覆
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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