[发明专利]加热器单元和热处理装置有效
| 申请号： | 201310286664.4 | 申请日： | 2013-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN103546996A | 公开（公告）日： | 2014-01-29 |
| 发明（设计）人： | 中西识;藤田翁堂;福田洋人;巽智彦 | 申请（专利权）人： | 光洋热系统株式会社 |
| 主分类号： | H05B3/06 | 分类号： | H05B3/06;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 周善来;李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供加热器单元和热处理装置。热处理装置（10）包括热处理炉（1）、热源（21）、透光构件（3）和气体流通机构（4）。热处理炉（1）收容被处理件。热源（21）使用放射红外线的热源。透光构件（3）与热源（21）相对配置，把热源（21）与气氛隔离。透光构件（3）由使从热源（21）放射的红外线的至少一部分透过的材料制成。气体流通机构（4）构成为使冷却气体在形成于热源（21）和透光构件（3）之间的空间（300）中流通。 | ||
| 搜索关键词： | 加热器 单元 热处理 装置 | ||
【主权项】：
一种加热器单元，其特征在于包括：热源，放射红外线；透光构件，与所述热源相对配置，把所述热源与气氛隔离，并且使所述红外线的至少一部分透过；以及气体流通机构，构成为使冷却气体在形成于所述热源和所述透光构件之间的空间中流通。
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