[发明专利]一种拉曼增强的测量装置和方法及使用的离轴积分腔结构

摘要

本发明涉及光谱测量领域，公开了一种拉曼增强的测量装置，包括依次设置的激光器、准直系统、离轴积分腔、边沿滤波器、收光透镜、光谱仪和控制系统；该离轴积分腔包括前平凹镜和后平凹镜，凹面面向腔内，腔内容置被测样品；前平凹镜镀全反膜，且偏离中心轴的地方设有通光孔，后平凹镜镀对激光高反的边沿滤波膜。还公开了一种使用该装置的拉曼增强测量方法以及所采用的离轴积分腔结构。本发明通过采用离轴积分腔技术，使激光在腔内多次往返振荡，使得受激发的分子数大量增加，实现拉曼光谱增强，从而使分子浓度稀薄的气体或液体样品，也能产生较强的拉曼光谱，经过对拉曼光谱峰的分析，从而简单准确的判断出被测样品的组分和浓度。

主权项

一种拉曼增强的测量装置，包括依次设置的激光器、准直系统、离轴积分腔、收光透镜、光谱仪和控制系统，其特征在于：还包括边沿滤波器，置于离轴积分腔与收光透镜之间；所述离轴积分腔包括前平凹镜和后平凹镜，凹面面向腔内，腔内容置被测样品；前平凹镜镀全反膜，且偏离中心轴的地方设有通光孔，后平凹镜镀对激光高反的边沿滤波膜；所述激光器发射的激光经准直系统准直后由前平凹镜的通光孔入射到离轴积分腔内，在离轴积分腔内多次往返振荡激发腔内的被测样品，被测样品分子受激产生拉曼散射光，拉曼散射光经后平凹镜的边沿滤波膜向腔外发射，并经边沿滤波器后由收光透镜会聚后输入光谱仪；由控制系统采集光谱仪输出的光谱信息分析判断被测样品所含的组分及浓度。