[发明专利]一种金属箔基底石墨烯刻蚀液及其刻蚀方法有效
| 申请号： | 201310290032.5 | 申请日： | 2013-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN103361068A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 吕鹏;张梓晗 | 申请（专利权）人： | 合肥微晶材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/00 | 分类号： | C09K13/00;C01B31/04 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人： | 何梅生 |
| 地址： | 230088 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种金属箔基底石墨烯刻蚀液及其刻蚀方法，其特征是：刻蚀液是按如下步骤进行配置的过硫酸铵的水溶液：a、将过硫酸铵盛入玻璃容器中；b、将去离子水加热到100℃，使去离子水沸腾；c、将步骤b所制备的沸腾的去离子水加入到盛有过硫酸铵的玻璃容器中，使过硫酸铵溶解得过硫酸铵的水溶液。本发明通过改变刻蚀液的配置方法配置方法及刻蚀方法，并结合玻璃容器的使用，解决了金属箔基底石墨烯在刻蚀完金属箔基底后有很多气泡附着在石墨烯的下表面难以去除的问题，提高了刻蚀后石墨烯的质量，对促进石墨烯大规模工业化应用具有极大的推进作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 基底 石墨 刻蚀 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种金属箔基底石墨烯刻蚀液，其特征是：所述刻蚀液是按如下步骤进行配置的过硫酸铵的水溶液：a、将过硫酸铵盛入玻璃容器中；b、将去离子水加热到100℃，使所述去离子水沸腾；c、将步骤b所制备的沸腾的去离子水加入到盛有过硫酸铵的玻璃容器中，使过硫酸铵溶解得过硫酸铵的水溶液。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥微晶材料科技有限公司，未经合肥微晶材料科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310290032.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
