[发明专利]可调谐光滤波器及包含该滤波器的芯片集成器件

摘要

本发明公开一种可调谐光滤波器，包括2x2四端口光波导耦合器，光波导耦合器右侧的两个波导臂上各设有相同的波导反射光栅；当光从左侧的入射波导端口输入，将被平均分光到右侧的两个波导上进行传输；传输中的波长和波导反射光栅波长相同的光会被光栅反射回来，反向经过2x2光波导耦合器，从耦合器左侧的出射波导端口输出；通过同步改变波导反射光栅处波导的光折射率，使波导光栅反射峰波长同步随之改变，从而在耦合器左侧的波导出射端口的输出波长被调谐；另外，还公开了包含该可调谐光滤波器的单芯片集成器件。由于器件的实现和集成都是在芯片上进行,可采用成熟的半导体微电子工艺,保证了器件的低成本、小尺寸、高重复性和大规模量产。

主权项

一种可调谐光滤波器，其特征在于：包括一个2x2四端口光波导耦合器，光波导耦合器的每个端口各接有波导臂；右侧的两个相同波导臂上距光波导耦合器相同距离的位置各设有一个完全相同的波导反射光栅；当光从左侧的入射波导端口输入，经过光波导耦合器后，将被平均分光到右侧的两个波导上进行传输；传输中的波长和波导反射光栅波长相同的光会被光栅反射回来，反向经过2x2光波导耦合器，从耦合器左侧的出射波导端口输出；通过同步改变波导反射光栅处波导的光折射率，使波导光栅反射峰波长同步随之改变，从而在耦合器左侧的波导出射端口的输出波长被调谐；在其中一个波导反射光栅与光波导耦合器之间存在一个光学位相调节器；光学位相调节器调节控制从右侧两个波导反射光栅反射回的两路光的相对位相，使得这两路光在返回左侧入射端口时具有反相位，而在左侧出射端口具有同相位。