[发明专利]一种带低温泵的表面分析系统

摘要

本发明公开了一种带低温泵的表面分析系统，包括有真空腔体，真空腔体顶部样品架中心直管伸入真空腔体内，且直管底端安装有方形铜块，低温泵的泵体安装在真空腔体底部，制冷机的二级冷头与泵体中的吸附阵侧部接触以冷却吸附阵，铜块底部连接的多根铜丝分别连接至泵体中的吸附阵上。本发明样品的最低温度可以低至25K，完全满足于表面分析实验需要，无须耗费液氮或液氦，并且比一般的液氮或液氦降温获得的温度更低，进而获得更多的实验信息。

主权项

一种带低温泵的表面分析系统，包括有真空腔体，真空腔体上安装有样品架，所述样品架中心竖直安装有直管，直管底端从真空腔体顶部伸入真空腔体内，且直管底端安装有方形铜块，铜块的底部设为安装样品的安装面，其特征在于：还包括由泵体和制冷机构成的低温泵，所述低温泵的泵体安装在真空腔体底部，制冷机安装在泵体侧部，泵体中设置有吸附阵，所述制冷机的二级冷头与泵体中的吸附阵侧部接触以冷却吸附阵，所述铜块底部连接有多根铜丝组成的铜导线，铜导线另一端分别连接至泵体中的吸附阵上。