[发明专利]磁性器件及其制造方法在审
申请号: | 201310291393.1 | 申请日: | 2013-07-11 |
公开(公告)号: | CN103545443A | 公开(公告)日: | 2014-01-29 |
发明(设计)人: | 李仑宰;金佑填;李俊明 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H01L43/08 | 分类号: | H01L43/08;H01L43/02;H01L43/12 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 陈源;张帆 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明公开了磁性器件及其制造方法。磁性器件包括存储单元,该存储单元包括磁阻器件以及上部电极和下部电极,其中磁阻器件夹在上部电极和下部电极之间,以向磁阻器件施加电流。磁阻器件包括:缓冲层,其控制用于诱导磁阻器件中的垂直磁各向异性(PMA)的晶轴,该缓冲层与下部电极接触;籽晶层,其与缓冲层接触并且取向为密排六方晶格(HCP)(0001)晶面;以及垂直磁化钉扎层,其与籽晶层接触并且具有L11型有序结构。 | ||
搜索关键词: | 磁性 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种磁性器件,包括:磁阻器件以及上部电极和下部电极,所述磁阻器件夹在所述上部电极和所述下部电极之间,其中,所述磁阻器件包括:缓冲层,其控制用于诱导所述磁阻器件中的垂直磁各向异性的晶轴,所述缓冲层与所述下部电极接触;籽晶层,其与所述缓冲层接触并且取向为具有密排六方晶格(0001)晶面;以及垂直磁化钉扎层,其与所述籽晶层接触并且具有L11型有序结构。
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