[发明专利]波长可变干涉滤波器、滤光器设备、光模块及电子设备

摘要

本发明提供了波长可变干涉滤波器、滤光器设备、光模块、电子设备以及波长可变干涉滤波器的制造方法，该波长可变干涉滤波器具备相对的固定基板和可动基板，固定基板具有固定反射膜、第一驱动电极以及第一电容检测电极，可动基板具有：与固定反射膜隔着反射膜间间隙配置的可动反射膜、与第一驱动电极隔着驱动电极间间隙配置的第二驱动电极、以及与第一电容检测电极隔着电容检测电极间间隙配置的第二电容检测电极。电容检测电极是该电极间的静电电容检测用电极。通过驱动电极使反射膜间间隙的间隙量变更。反射膜间间隙、驱动电极间间隙和电容检测电极间间隙是相互不同的间隙量。

主权项

一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具备：第一基板；第二基板，与所述第一基板相对配置；第一反射膜，设置在所述第一基板上，所述第一反射膜将入射的光的一部分反射并使一部分透过；第二反射膜，设置在所述第二基板上，所述第二反射膜将入射的光的一部分反射并使一部分透过，隔着相对于所述第一反射膜的表面间的距离、即反射膜间间隙而与所述第一反射膜相对配置；第一驱动电极，设置在所述第一基板上；第二驱动电极，设置在所述第二基板上，隔着相对于所述第一驱动电极的表面间的距离、即驱动电极间间隙而与所述第一驱动电极相对配置；第一电容检测电极，设置在所述第一基板上；以及第二电容检测电极，设置在所述第二基板上，隔着相对于所述第一电容检测电极的表面间的距离、即电容检测电极间间隙而与所述第一电容检测电极相对配置，所述第一电容检测电极以及所述第二电容检测电极是用于测定所述第一电容检测电极以及所述第二电容检测电极间的静电电容的静电电容检测用电极，通过所述第一驱动电极以及所述第二驱动电极构成使所述反射膜间间隙的间隙量变更的间隙量变更部，所述反射膜间间隙、所述驱动电极间间隙和所述电容检测电极间间隙是相互不同的间隙量。