[发明专利]全自动LED芯片显影机用取片手臂无效
| 申请号： | 201310295336.0 | 申请日： | 2013-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN103400781A | 公开（公告）日： | 2013-11-20 |
| 发明（设计）人： | 黄成;刘坚 | 申请（专利权）人： | 淮安澳洋顺昌光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/68 |
| 代理公司： | 淮安市科文知识产权事务所 32223 | 代理人： | 谢观素 |
| 地址： | 223000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了全自动LED芯片显影机用取片手臂，包括显影机本体（1），显影机本体（1）内设置有多个芯片承载台面（2），多个芯片承载台面（2）之间通过取片手臂（3）的取放进行芯片的显影作业，其特征在于：所述取片手臂（3）由陶瓷材料制成，本发明有效解决现有芯片显影设备用取片手臂由不锈钢材料制成，由于不锈钢材料导热快，芯片在显像过程中产生叉形阴影，从而导致芯片显影效果差的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 全自动 led 芯片 显影 机用取片 手臂 | ||
【主权项】：
全自动LED芯片显影机用取片手臂，包括显影机本体（1），显影机本体（1）内设置有多个芯片承载台面（2），多个芯片承载台面（2）之间通过取片手臂（3）的取放进行芯片的显影作业，其特征在于：所述取片手臂（3）由陶瓷材料制成。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于淮安澳洋顺昌光电技术有限公司，未经淮安澳洋顺昌光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310295336.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
