[发明专利]使用动态射束阵列的光子铣削

摘要

一种激光处理系统，包含一射束定位系统以相对于一工件对齐射束投送坐标。上述的射束定位系统产生对应于该对齐的定位数据。此系统亦包含一脉冲激光源以及一子束产生模块以自该脉冲激光源接收一激光脉冲。子束产生模块自该激光脉冲产生一子束阵列。该子束阵列包含多个子束脉冲。此系统更进一步包含一子束调变器以选择性地调变该子束阵列中每一子束脉冲的振幅，以及子束投送光学模块以将调变后的子束阵列聚焦至工件上对应至上述定位数据的位置的一或多个标的。

主权项

一种激光处理系统，其特征在于，包含：一射束定位系统，以相对于一工件对齐射束投送坐标，该射束定位系统产生对应于该对齐的定位数据；一脉冲激光源；一子束产生模块，以接收来自该脉冲激光源的一激光脉冲，且自该激光脉冲产生一包含多个子束脉冲的子束阵列；一子束调变器，以调变该子束阵列中每一子束脉冲的振幅；以及子束投送光学模块，以将调变后的该子束阵列聚焦至该工件上对应至该定位数据的位置的一或多个标的；其特征在于，该子束产生模块包含：一第一四分之一波板，以接收该激光脉冲，并将该激光脉冲自一线性极化转换成一圆形极化；一极化射束分光棱镜，包含一第一信道、一第二信道、以及一输出表面，该极化射束分光棱镜用以经由该输出表面传送该圆形极化激光束的一第一部分以做为该子束阵列中的一第一子束脉冲，并将该圆形极化激光束的一第二部分传送入该第一通道；一第二四分之一波板，以将该圆形极化激光束的该第二部分传送至一第一反射镜，并接收一来自该第一反射镜的反射，从而将该来自该第一反射镜的反射转换成传回该极化射束分光棱镜的一p偏极化射束，其中该极化射束分光棱镜透过该第二通道传送该p偏极化射束；以及一第三四分之一波板，以将该p偏极化射束传送至一第二反射镜、自该第二反射镜接收一反射、并将该来自该第二反射镜的反射传送回该极化射束分光棱镜，其中该极化射束分光棱镜经由该输出表面传送接收自该第三四分之一波板的射束以做为该子束阵列中的一第二子束脉冲。