[发明专利]基板输送装置

摘要

本发明提供一种基板输送装置，通过该装置能够在抑制基板上的涂布膜上产生干燥不匀的情况下输送基板。该装置是用基板导向件夹持通过超声波振动浮起的基板的同时使基板导向件行进，以浮起基板的状态输送基板的基板输送装置，所述基板导向件包括：基板抵接部，与基板抵接；浮起单元，将该基板抵接部从振动板浮起至规定高度，浮起单元包括：空气垫部，包括向振动板排出空气的空气排出部；脱气通道，用于将从空气排出部排出的空气逃出；脱气通道至少设置在空气排出部和与基板抵接部抵接的基板之间，并按照使空气垫部和振动板之间形成的间隙的空气向高于所述基板高度位置逃出的方式形成。

主权项

一种基板输送装置，在产生超声波振动的振动板上用基板导向件夹持通过超声波振动浮起的基板的同时使基板导向件行进，由此将基板以浮起的状态输送，其特征在于，所述基板导向件包括：基板抵接部，其与基板抵接；浮起单元，将该基板抵接部从振动板浮起至规定高度，所述浮起单元包括：空气垫部，其包括向振动板排出空气的空气排出部；脱气通道，其用于将从空气排出部排出的空气逃出；所述脱气通道至少设置在所述空气排出部和与所述基板抵接部抵接的基板之间，并按照使空气垫部和振动板之间形成的间隙的空气向高于所述基板高度的位置逃出的方式形成。