[发明专利]CZTS太阳电池的PN结及CZTS太阳电池器件的制备方法有效
申请号: | 201310300827.X | 申请日: | 2013-07-17 |
公开(公告)号: | CN103354252A | 公开(公告)日: | 2013-10-16 |
发明(设计)人: | 程冠铭;杨春雷;鲍浪;冯叶;顾光一;徐苗苗;于冰;郭延璐;肖旭东;罗海林 | 申请(专利权)人: | 深圳先进技术研究院;香港中文大学 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 吴平 |
地址: | 518055 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种CZTS太阳电池的PN结及CZTS太阳电池器件的制备方法。该PN结的制备方法包括提供层叠有第一钼背电极层的第一衬底,制备层叠于第一钼背电极层上的铜锌锡硫薄膜或铜锌锡硒薄膜前驱体;将前驱体进行高温退火,形成吸收层薄膜;制备层叠于吸收层薄膜上的第二钼背电极层;提供第二衬底,并用粘胶将第二衬底粘结在第二钼背电极层上及分离第一衬底和第二衬底,使吸收层薄膜与第一钼背电极层分离,制备依次层叠于吸收层薄膜的远离第二钼背电极层的表面上的硫化镉缓冲层、本征氧化锌层和掺铝氧化锌层,得到PN结的步骤。本发明在吸收层临近钼背电极层的表面上制作PN结,结晶完美,化学组分合适,提高了电池效率。 | ||
搜索关键词: | czts 太阳电池 pn 器件 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种CZTS太阳电池的PN结的制备方法,包括如下步骤:提供层叠有第一钼背电极层的第一衬底,制备层叠于所述第一钼背电极层上的前驱体,所述前驱体为铜锌锡硫薄膜前驱体或铜锌锡硒薄膜前驱体;将所述前驱体进行高温退火,形成层叠于所述第一钼背电极层上的吸收层薄膜,所述吸收层薄膜为铜锌锡硫薄膜太阳电池光吸收层或铜锌锡硒薄膜太阳电池光吸收层;制备层叠于所述吸收层薄膜上的第二钼背电极层;提供第二衬底,并用粘胶将所述第二衬底粘结在所述第二钼背电极层上;及分离所述第一衬底和第二衬底,使所述吸收层薄膜与所述第一钼背电极层分离,制备依次层叠于所述吸收层薄膜的远离所述第二钼背电极层的表面上的硫化镉缓冲层、本征氧化锌层和掺铝氧化锌层,得到CZTS太阳电池的PN结。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的