[发明专利]一种制备铜锌锡硫光电薄膜的方法有效

专利信息
申请号: 201310300895.6 申请日: 2013-07-09
公开(公告)号: CN103388139A 公开(公告)日: 2013-11-13
发明(设计)人: 刘科高;石璐丹;李静;石磊;许斌 申请(专利权)人: 山东建筑大学
主分类号: C23C20/08 分类号: C23C20/08;H01L31/032
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 250101 山东省*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 一种铜锌锡硫薄膜的制备方法,属于光电薄膜制备技术领域,本发明通过如下步骤得到,首先清洗基片,然后将CuCl2·2H2O、ZnCl2·2H2O、SnCl2·2H2O和CH4N2S放入溶剂中,采用旋涂法在基片上得到前驱体薄膜,烘干,放入有水合联氨的可密闭容器中,使前驱体薄膜样品不与水合联氨接触,最后进行干燥,得到铜锌锡硫光电薄膜。本发明不需要高温高真空条件,对仪器设备要求低,生产成本低,生产效率高,易于操作。所得铜锌锡硫光电薄膜有较好的连续性和均匀性,这种新工艺容易控制目标产物的成分和结构,为制备高性能的铜锌锡硫光电薄膜提供了一种成本低、可实现工业化的制备方法。
搜索关键词: 一种 制备 铜锌锡硫 光电 薄膜 方法
【主权项】:
一种制备铜锌锡硫光电薄膜的方法,包括如下顺序的步骤: a.玻璃基片或硅基片的清洗; b.将2.0~4.0份CuCl2·2H2O、1.0~2.0份ZnCl2·2H2O、1.3~2.6份SnCl2·2H2O和1.77~3.53份CH4N2S放入30~120份的溶剂中,使溶液中的物质均匀混合; c.制作外部均匀涂抹步骤b所述溶液的基片,并烘干,得到前驱体薄膜样品; d.将步骤c所得前驱体薄膜样品置于支架上,放入有水合联氨的可密闭容器,使前驱体薄膜样品不与联氨接触,将装有前躯体薄膜样品的密闭容器放入烘箱中,加热至160~220℃之间,保温时间10~60h小时,然后冷却到室温取出; e.将步骤d所得产物,进行自然干燥,得到铜锌锡硫光电薄膜。
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