[发明专利]一种制备铜锌锡硫光电薄膜的方法有效
申请号: | 201310300895.6 | 申请日: | 2013-07-09 |
公开(公告)号: | CN103388139A | 公开(公告)日: | 2013-11-13 |
发明(设计)人: | 刘科高;石璐丹;李静;石磊;许斌 | 申请(专利权)人: | 山东建筑大学 |
主分类号: | C23C20/08 | 分类号: | C23C20/08;H01L31/032 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 250101 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种铜锌锡硫薄膜的制备方法,属于光电薄膜制备技术领域,本发明通过如下步骤得到,首先清洗基片,然后将CuCl2·2H2O、ZnCl2·2H2O、SnCl2·2H2O和CH4N2S放入溶剂中,采用旋涂法在基片上得到前驱体薄膜,烘干,放入有水合联氨的可密闭容器中,使前驱体薄膜样品不与水合联氨接触,最后进行干燥,得到铜锌锡硫光电薄膜。本发明不需要高温高真空条件,对仪器设备要求低,生产成本低,生产效率高,易于操作。所得铜锌锡硫光电薄膜有较好的连续性和均匀性,这种新工艺容易控制目标产物的成分和结构,为制备高性能的铜锌锡硫光电薄膜提供了一种成本低、可实现工业化的制备方法。 | ||
搜索关键词: | 一种 制备 铜锌锡硫 光电 薄膜 方法 | ||
【主权项】:
一种制备铜锌锡硫光电薄膜的方法,包括如下顺序的步骤: a.玻璃基片或硅基片的清洗; b.将2.0~4.0份CuCl2·2H2O、1.0~2.0份ZnCl2·2H2O、1.3~2.6份SnCl2·2H2O和1.77~3.53份CH4N2S放入30~120份的溶剂中,使溶液中的物质均匀混合; c.制作外部均匀涂抹步骤b所述溶液的基片,并烘干,得到前驱体薄膜样品; d.将步骤c所得前驱体薄膜样品置于支架上,放入有水合联氨的可密闭容器,使前驱体薄膜样品不与联氨接触,将装有前躯体薄膜样品的密闭容器放入烘箱中,加热至160~220℃之间,保温时间10~60h小时,然后冷却到室温取出; e.将步骤d所得产物,进行自然干燥,得到铜锌锡硫光电薄膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东建筑大学,未经山东建筑大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201310300895.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种用于n型低阻砷化镓单晶生长的掺杂工艺
- 下一篇:一种卡车车架电泳生产系统
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C20-00 通过固态覆层化合物抑或覆层形成化合物悬浮液分解且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C20-02 .镀金属材料
C23C20-06 .镀金属材料以外的无机材料
C23C20-08 ..镀化合物、混合物或固溶体,例如硼化物、碳化物、氮化物
C23C20-04 ..镀金属
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C20-00 通过固态覆层化合物抑或覆层形成化合物悬浮液分解且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C20-02 .镀金属材料
C23C20-06 .镀金属材料以外的无机材料
C23C20-08 ..镀化合物、混合物或固溶体,例如硼化物、碳化物、氮化物
C23C20-04 ..镀金属